美国FEI Quanta 650FEG扫描电镜
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美国FEI Quanta 650FEG扫描电镜

类别: 显微镜 - 扫描电镜
品牌: 美国FEI
点击量:102
销售电话:13953259481

产品介绍

  • 技术参数
  • 产品详细

美国FEI Quanta 650FEG扫描电镜

美国FEI Quanta 650FEG扫描电镜

研究各种各样的材料,并进行结构和成份表征,是目前对扫描电镜的主流应用要求。FEI Quanta FEG系列灵活、通用,足以应对当今人们广博的研究方向这一挑战。“分析任何样品,得到所有数据”,在Quanta FEG上可得到表面像和成份像,并可辅以多种附件来确定材

美国FEI Quanta 650FEG扫描电镜

料的性质和元素组成。


Quanta 50 FEG系列是基于前两代成功的肖特基场发射环境扫描技术开发的第三代Quanta系列产品。这一系列产品用户界面使用起来十分方便、灵活,有多种功能最大程度地发挥其使用效率,并且允许采集所有需要的数据。它是电镜专家设计来给电镜专家使用的仪器,性能远不止“简便易用”。这些功能有:特有的图像导航功能包括蒙太奇图像导航、鼠标双击样品台移动、鼠标拖曳放大居中功能以及其它标准的特色技术;SmartSCAN,一种智能扫描技术,能降低信号噪音,提供更好的数据;电子束减速模式,一个新的选项,将钨灯丝扫描电镜的低加速电压性能提高到一个全新的水平;Nav-Cam彩色图像导航器及新开发的探测器也大大增加了其灵活性。

美国FEI Quanta 650FEG扫描电镜

一、主要优点


1)世界上唯一具有环境扫描技术的高分辨场发扫描电镜


2)在各种操作模式下分析导电和不导电样品,得到二次电子像和背散射电子像


3)最大程度降低样品制备要求:低真空/环境真空技术使得不导电样品和/或含水样品不经导电处理即可直接成像和分析,样品表面无电荷累积现象


4)专利的“穿过透镜”的压差真空系统,对导电和不导电样品都可进行EDS/EBSD分析,不管是在高真空模式或在低真空模式。稳定的大束流(最大 200 nA)确保能谱及EBSD分析工作的快速、准确


5)电镜可作为一个微观实验室。安装特殊的原位样品台后,在从- 165 °C到1500 °C温度范围内,对多种样品保持其原始状态下进行动态原位分析


6)对导电样品,可选用减速模式得到表面和成份信息


7)直观、简便易用的软件,即使电镜新手也能轻易上手



二、典型应用:


1、纳米表征


1)金属及合金, 氧化/腐蚀, 断口, 焊点, 抛光断面, 磁性及超导材料


2)陶瓷, 复合材料, 塑料


3)薄膜/涂层地质样品断面, 矿物


4)软物质: 聚合物, 药品, 过滤膜, 凝胶, 生物组织, 木材


5)颗粒, 多孔材料, 纤维


2、原位过程分析


1)增湿/去湿


2)浸润行为/接触角分析


3)氧化/腐蚀


4)拉伸 (伴随加热或冷却)


5)结晶/相变


3、纳米原型制备


1)电子束曝光 (EBL)


2)电子束诱导沉积(EBID)



三、主要参数


1、电子光学


1)高分辨肖特基场发射电子枪


2)优化的高亮度、大束流镜筒


3)45°锥度物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统,加热式物镜光阑


4)加速电压: 200 V - 30 kV


5)束流: 最大200 nA并连续可调


6)放大倍数: 6 x 1,000,000 x (四幅图像显示)


2、分辨率


1)高真空


30 kV下0.8 nm (STEM)*


30 kV下1.0 nm (SE)


30 kV下2.5 nm (BSE)*


1 kV下3.0 nm (SE)


2)高真空下减速模式*


1 kV下3.0 nm (BSE)*


1 kV下2.3 nm (ICD)*


200 V下3.1 nm (ICD)*


3)低真空


30 kV下1.4 nm (SE)


30 kV下 2.5 nm (BSE)


3 kV下3.0 nm (SE)


4)环境真空 (ESEM)


30 kV下1.4 nm (SE)



3、检测器


1)E-T二次电子探头


2)大视场低真空气体二次电子探头 (LFD)


3)气体二次电子探头 (GSED)


4)样品室红外CCD相机


5)高灵敏度、低电压固体背散射探头*


6)气体背散射探头*


7)四分固体背散射探头*


8)闪烁体型背散射探头/CLD*


9)vCD (低电压、高衬度探头)*


10)镜筒内探头(ICD),用于减速模式下二次电子检测*


11)电子束流检测器*


12)分析型气体背散射探头 (GAD)*


13)STEM探头*


14)Nav-Cam 光学相机彩色成像,用于样品导航*


15)阴极荧光探测器*


16)能谱*


17)波谱*


18)EBSD*


19)极靴底部安装四环分隔式定向型背散射电子探头 (DBS)


4、真空系统


1)1个 250 l/s 涡轮分子泵, 2个机械泵


2)专利的“穿过透镜”的压差真空系统


3)电子束在气体区域的行程:10 mm或2 mm


4)可升级成无油机械泵


5)2个离子泵


6)样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa


7)样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa


8)样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 4000 Pa


9)典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒;低真空及环境真空模式≤ 270秒 (FEI标准测试程序)


5、样品室


1)左右内径379mm


2)10 mm分析工作距离


3)10个探测器 / 附件接口


4)EDS采集角: 35°


6、样品台


1)X/Y = 150 mm


2)Z = 65 mm


3)Z向间隙93.5mm


4)倾斜:- 5° - + 70°


5)连续旋转360°


6)重复精度: 2 μm (X/Y方向)


7)伪全对中样品台


7、图像处理器


1)最大6144 x 4096像素


2)图像文件格式:TIFF (8,16 or 24 bit), BMP or JPEG


3)单窗口或四窗口图像显示


4)四活动窗口


5)实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合


6)256 帧平均或积分


7)数字动画记录 (.avi格式)


8)直方图及图像测量软件


9)DCFI (漂移补偿积分)


8、支持软件


1)SmartSCAN 智能扫描技术


2)蒙太奇图像导航


3)软件温度控制


4)FEI动画生成工具


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